真空镀膜仪-实验与创新实践教育中心 - 哈尔滨工业大学（深圳）

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真空镀膜仪

设备名称: 真空镀膜仪
存放地点: K603
负责人: 况婷
联系方式: 0755-86970677
设备型号: Leica EM ACE600
购置年限: 2020年4月

功能介绍

多用途高真空薄膜沉积系统，通过离子溅射或碳丝蒸发方式，对样品表面进行均匀的金属或碳镀膜。
功能参数

1、内置石英膜厚检测器，精确控制镀膜厚度，精度0.1nm；
2、真空度：2×10^-6mBar；
3、样品台内置旋转，工作距离调节范围：30-100mm。
设备预约链接
设备预约联系人

况婷
设备预约要求

参加培训并通过认证，至少提前1周联系实验室管理员

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邮箱：ecei@hit.edu.cn

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