激光干涉仪-实验与创新实践教育中心 - 哈尔滨工业大学（深圳）

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激光干涉仪

设备名称: 激光干涉仪
存放地点: KB102
负责人: 奚月平
联系方式: 0755-26927943
设备型号:
购置年限:

功能介绍

激光干涉仪主要用于在数控设备的精度检测，可测量定位精度、重复定位精度、反向间隙，导轨直线度误差检测等
功能参数

1、系统精度±0.5ppm；
2、整个系统工作范围0-40℃；
3、分辨率0.001μm；
4、测量范围：0-80m；
5、最高采样频率50KHz；
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经过安全准入与设备操作培训

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邮箱：ecei@hit.edu.cn

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