场发射扫描电子显微镜-实验与创新实践教育中心 - 哈尔滨工业大学（深圳）

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场发射扫描电子显微镜

设备名称: 场发射扫描电子显微镜
存放地点: D106K
负责人: 马清
联系方式: 0755-86970358
设备型号: FESEM 30KV
购置年限: 2022年6月

功能介绍

表面形貌、结构与成分分析。
功能参数

1、高稳定性肖特基热场发射电子枪；
2、加速电压范围20V-30kV；
3、电子束流范围3pA-20nA；
4、二次电子探测器、背散射电子探测器、透射电子探测器；
5、高性能EDS与EBSD，实现EDS谱图与EBSD花样同步采集。
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设备预约联系人

马清
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