1.系统定位精度：≤±1μm@3sigma
2.键合压力至少包含0.2N～10N精确可调
3.键合压力分辨率：≤±0.1N
4.键合后精度≤±3um
5.显微对准系统：垂直双光路同轴式显微系统, 可在对准时同时对上下芯片进行观察，并且确保观察与对准过程中上下光轴的同轴性
6.视觉系统不低于以下参数：物镜6X，视场800×600μm，视场分辨率：0.36μm/Pixel
