1.设备采用红外石英灯管辐射加热,加热板采用惰性气体冷却降温
2.加热板最大装载量≥5kg
3.温度变换响应速度：加热板升温速率最大≥200℃/min，降温速率最高≥100℃/min
4.加热板温度均匀性：≤±1～2%(热板外围15mm以内)
5.温度曲线控制精度：≤±0.5℃
6.支持工艺气氛： N2、HCOOH/N2，采用质量流量计自动控制
