1.曝光波长：紫外365nm
2.曝光灯功率：350W
3.分辨率：优于0.8 um
4.正面套刻精度优于1um
5.光强均匀度：4英寸范围内优于±2％；且更换汞灯后及汞灯全寿命周期内无需均匀性校正；
6.全自动的曝光过程，对准模式/曝光模式之间可全自动控制切换
7.光强输出范围：10～55mW/cm2
