1.X,Y轴精度±10um
2.X,Y轴重复性±5um
3.X,Y轴分辨率1um
4.X,Y轴速度2mm/s
5.Y轴负载:≤100kg
6.X轴负载:≥5kg
7.Z行程误差精度: ≤±10um
8.Z轴分辨率: ≤±0.125um
9.系统精度: 所选量程满误差的≤±0.25%