1.光学系统组件：采用白光干涉&三维共聚焦双功能设计，两种互补的测量技术采用分开的硬件光路设计，分别独立的高像素成像系统，光学系统高度封装集成，只通过软件即可一键全自动切换
2.150mm x 150mm(6inch)XY自动样品台，样品台至少可±6°倾斜调整，自动位移控制，无需人工手动调节。
3.四色高亮度固态光源，红色、蓝色、绿色、白色
4.白光干涉：Z轴分辨率 ≤ 0.1nm；RMS重复性 ≤0.01nm；至少 2.3 M 像素的独立成像系统，像素分辨率≥1920*1200，Z方向测量范围: ≥10mm
5.共聚焦：5M像素的独立成像系统，像素分辨率至少2560*1920。Z方向最大测量范围≥ 15mm；样品表面结构斜率最大不超过72°；支持明视场和暗视场模式。
