1 提供XYZ 三轴闭环管状扫描器：XY方向扫描范围不小于90微米；Z方向扫描范围不小于9微米；扫描器Z方向实际测试噪声水平：开环控制下，小于0.03 nm （RMS）；XY方向实际测试噪声水平：开环控制下，不高于0.1nm （RMS）;
2 单一扫描器能同时满足不小于90微米大范围扫描和高分辨率原子像成像。要求具备探针扫描的扫描器，扫描过程中样品为完全静止状态;
3 进针方式：智能自动进针方式，采用马达加压电陶瓷自动探测的智能进针模式，以保护探针及样品;
4 样品台尺寸不小于210mm；能放置最大样品高度不低于15mm；样品台自动移动XY行程不低于160x150mm; 并且可360度旋转;
5 要求样品台可真空吸附样品
6 每条扫描线可获得更多数据点数≥ 16,000;最少有8通道同时成像；单个通道可获得不少于5000×5000数据点。
7 辅助光学系统：要求辅助光学显微镜具备缩放功能，单一视野最大范围不小于1mmX1mm，以便于大范围观察样品并定位到扫描区域;
