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激光干涉仪

  • 设备名称: 激光干涉仪
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  • 购置年限:
  • 功能介绍

    1、线性测量光学镜组

        1.1、每个线性测量光学镜组包含1个线性干涉镜,两个线性反射镜、两个准直调整光靶;

        1.2线性测量的精度至少应达到0.8 ppm,线性测量速度≥4米/秒时,分辨率仍不低于1纳米;

        1.3可用于大于40M的线性测量。

        1.4集成USB连接,无需单独接口

    2、固定转向镜(90°)

        2.1具备允许机器进行重新定向的功能;

    3、激光准直辅助镜

        3.1可提供激光束在水平和垂直平面上的简单角度调整辅助;

        3.2可以辅助在水平和垂直轴上进行线性,角度和直线测量,同面或90°角度测量;

    4、旋转镜

        4.1可以用作对角线测量的对准辅助,允许机器在对角线上或者在倾斜的轴上进行调整。

    5、角度测量光学镜组

         5.1每个角度测量光学镜组包含1个角度反射镜,1个角度干涉镜、两个准直调整光靶;

         5.2可以用于轴的斜距和斜度测量,可以用于正负10°的角度偏移测量,分辨率≤0.01个角秒

    6、直线度测量光学镜组

         6.1每个直线度测量光学镜组包含1个直线度反射镜,1个直线度干涉镜

         6.2可用于测量4米的线性轴水平直线度误差的测量和平行度测量;

    7、平面度测量组件

         7.1每个平面度测量光学镜组包含2个平面度镜,3个不同尺寸的平面度基板;

         7.2要求不仅可以水平旋转,还可以倾斜以实现激光光束的水平和垂直调整;

    8、垂直度测量光学镜组

         8.1每个垂直度测量光学镜组总体配置:1个光学角尺和夹紧螺钉,1个支架

         8.2配合直线度测量光学镜组和直线度附件可完成垂直度测量

    9、无线球杆仪套装(含校准块)

         9.1每个球杆仪组件总体配置包含1个无线球杆仪(配电池),1个中心座,一个工具杯(附带50,150,300mm的加长杆),系统软件(含手册),中心设定球,系统便携箱等。

    10、无线型回转轴校准装置

         10.1无线型回转轴校准装置组件包含1个无线型回转轴校准装置,1个固定环,一个连接盘,软件包,电池充电器, USB电缆和电源适配器,便携箱等;

          10.2测量精度至少应达到±1角秒,大角度 (>5°)的回转轴测量速度最高≥10 rpm;

    11、通用组件

         11.1每套通用组件包括1个触发器,1条触发器电缆,1条电源线2个编码器和控制器端口插头等 。

     

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