光学系统：
1、像素：900万
2、XY像素分辨率：10μm
3、检测速度：10cm^2/s
4、检测区域大小：30mm*30mm
5、高度测量精度：±3%
基板处理能力：
1、基板尺寸范围：50mm*50mm~510mm*510mm
2、基板厚度范围：0.4mm~7mm
3、最大PCB变形量：±3mm
4、基板上最大元器件高度：27mm
