1.检测对象：体积、高度、XY偏移量、面积
2.高度测量范围：0~450μm
3.高度重复精度：±1%（3σ）
4.体积重复精度：±1%（3σ）
5.高度测量精度：2μm
6.最大PCB翘曲度：5mm
7.基板处理能力：
基板尺寸范围：50mm*50mm~510mm*460mm
基板厚度范围：0.4mm~7mm
